MEMS的优势，首先是一个字：快。由于MEMS器件非常微小，因此主要靠静电力驱动的MEMS机械可以做到非常快的动作速度。同时由于器件本身的刚性非常大，导致整个系统的稳定性要比VCM高得多。MEMS推动镜头组运动80微米只需要不到300毫秒，但是传统的VCM耗时就可能要长得多。另外，当镜头组到位后，MEMS器件只需要不到10毫秒即可进入稳定状态，VCM则需要最多50毫秒，才可以吸收掉零件的震动。
对焦速度，单位是毫秒，耗时越少越好（数据来源DigitalOptics Corporation）
按照DigitalOptics Corporation官方给出的数据，MEMS摄像头对焦速度要比普通的VCM摄像头快足足7倍，即使这里面有一定水分，也是一个非常惊人的数字。
MEMS摄像头对焦部件示意图，它基本上就是一个电路，不存在复杂的机械结构
其次是准。由于和电子系统紧密结合在一起，MEMS可以非常容易的实现超高精度的闭环控制，因此MEMS的准确性会明显高于VCM，不论是在分辨率还是重复定位上，MEMS都可以实现小于1微米的精度，而VCM则通常只能做到10～20微米。
除此以外，由于是使用半导体工艺制造的，MEMS机构本身的一致性也要远高于VCM，具体来说，镜头中心偏移量方面，VCM一般只能控制在50微米左右，MEMS却可以做到惊人的0.1微米；而对画质影响非常重大的镜头组光轴偏斜，VCM的平均误差是0.26度，MEMS则只有0.05度，这个优势可以极大的提升边缘成像效果。
除此以外，由于是使用半导体工艺制造的，MEMS机构本身的一致性也要远高于VCM，具体来说，镜头中心偏移量方面，VCM一般只能控制在50微米左右，MEMS却可以做到惊人的0.1微米；而对画质影响非常重大的镜头组光轴偏斜，VCM的平均误差是0.26度，MEMS则只有0.05度，这个优势可以极大的提升边缘成像效果。
传感器温度也是MEMS摄像头的一大优势，可不要小看发热，温度的不均匀会影响传感器成像质量
最后是省。MEMS工作时的典型功耗只有VCM的1%左右，由此导致的低发热也可以让摄像头组件降温10度。由于硅机械对于空间利用率的进步，MEMS摄像头可以实现比传统VCM摄像头更薄的最终模组尺寸，差距可以到1毫米——这对于现代手机设计而言是非常重要的一个优势。